Вестник Нижегородского университета им. Н.И. Лобачевского. Серия: Социальные науки

16+

Название статьи

РАДИАЦИОННО-СТИМУЛИРОВАННОЕ ФОРМИРОВАНИЕ НИТРИДА КРЕМНИЯ В КРЕМНИИ ПРИ ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОМ ОБЛУЧЕНИИ ВСТРЕЧНЫМИ ПУЧКАМИ ИОНОВ АЗОТА И АРГОНА

Номер журнала	3
Дата выпуска	2007

Раздел

Физика твердого тела

Тип статьи		Коды УДК	539.1.04
Страницы	34-40	Ключевые слова

Авторы

Демидов Е.С.Карзанов В.В.Марков К.А.Сдобняков В.В.

Место работы

Демидов Е.С. Нижегородский госуниверситет им. Н.И. Лобачевского
Карзанов В.В. Нижегородский госуниверситет им. Н.И. Лобачевского
Марков К.А. Нижегородский госуниверситет им. Н.И. Лобачевского
Сдобняков В.В. Нижегородский госуниверситет им. Н.И. Лобачевского

Аннотация

Методами просвечивающей электронной и зондовой микроскопий, ИК-спектроскопии и регистрации вольтамперных характеристик осуществлялся поиск способов увеличения температурного интервала стабильности ионно-синтезированного нитрида кремния. Проводился ряд экспериментов для исследования дальнодействия при последовательном облучении кремния встречными пучками ионов азота и аргона.

Загрузить статью